Halbleiter

Halbleiterschichten sind für spektrale Lichtinterferenz wie geschaffen. Präzise Schichtdickenverteilungen  auf Wafern bis 300mm erhalten sie in kürzester Zeit in Verbindung mit automatischen X-Y Einrichtungen. Für das Mapping mikroskopisch kleiner Strukturen werden spezielle Photometer mit Mikroskopie Eigenschaften oder Mikroskop Adapter angeboten(<2,5µm).

Typische Beschichtungen im Bereich Halbleiter:

Fehleranalyse

Oxide, Nitride – SiO2, Si3N4, AlN usw.

Photolack

Mehrfachschichten

HR-Spiegel

Mikroskop – kleiner Messfleck

MEMS, SU8, SOI, dicke Si-Schichten

in-situ Messungen