SCUTEC GmbH
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Die Scutec GmbH ist umgezogen. Sie erreichen uns unter unserer neuen Adresse:
Scutec GmbH
Philipp-Reis-Str.4
63150 Heusenstamm
Halbleiterschichten sind für spektrale Lichtinterferenz wie geschaffen. Präzise Schichtdickenverteilungen auf Wafern bis 300mm erhalten sie in kürzester Zeit in Verbindung mit automatischen X-Y Einrichtungen. Für das Mapping mikroskopisch kleiner Strukturen werden spezielle Photometer mit Mikroskopie Eigenschaften oder Mikroskop Adapter angeboten(<2,5µm).
Typische Beschichtungen im Bereich Halbleiter:
Fehleranalyse
Oxide, Nitride – SiO2, Si3N4, AlN usw.
Photolack
Mehrfachschichten
HR-Spiegel
Mikroskop – kleiner Messfleck
MEMS, SU8, SOI, dicke Si-Schichten
in-situ Messungen