Spektrale Analyse der Reflektionen von oberer und unterer Oberfläche einer dünnen Schicht liefert Informationen über Schichtdicke, Brechungsindex und Extinktionskoeffizient
Bei dem kapazitiven Messverfahren wird ein elektrisches Feld zwischen dem Sensor und der Grundplatte aufgebaut. Bringt man nun ein nicht leitendes Material dazwischen, wird das Feld der Dielektrischen Konstante des Materials entsprechend geschwächt. Dieser Feldänderung kann ein Dickenwert zugeordnet werden.
Die Triangulation ist eine Abstandsmessung. Bei dieser Art der Messung wird der Abstand des Lasers von dem zu messenden Materials gemessen. Addiert man nun die Signale von zwei gegenüber liegenden Lasern, bekommt man die Gesamtdicke des Materials.
Magnetinduktives Verfahren (DIN EN ISO 2178)
Für alle nichtmagnetischen Schichten auf (ferro)- magnetischem Grundmaterial (Fe) wie z.B. Lack,Farbe, Pulverlack, Emaille, Kunststoff, Zink, Chrom,Kupfer, auf z.B. Eisen und Stahl.
Wirbelstromverfahren (DIN EN ISO 2360)
Für alle nicht leitenden Schichten auf (elektrisch) leitfähigem Grundmaterial (NFe) wie z.B. Lack, Farbe, Pulverlack, Eloxal, Kunststoff, auf z.B. Aluminium,Kupfer, Messing.