Weißlichtspektrometer
Die neue F10 Gerätefamilie wird insbesondere eingesetzt zur Messung von Glasvergütungen, sowie der spektralen Analyse und Überwachung von Entspiegelung (Antireflexion) und Farbe
Die F20 Standardprodukte sind für ein breites Aufgabenspektrum zur Messung von Schichtdicken und optische Konstanten ausgelegt und bieten dafür alle Merkmale in einem System.
Die Einsatzgebiete der F30 sind in-situ Messungen und die Kalibrierung von Beschichtungsprozessen oder Beschichtungsanlagen.
Aufgabengebiet ist die Schichtdickenvermessung von mikroskopisch kleinen Strukturen mit Hilfe der Mikroskopie oder deren Verteilung mit hoher Auflösung auf kleinen Flächen.
Automatisches Schichtdicken-Mapping-System für Wafer verschiedener Größe mit frei wählbarem Muster der Messpunkte.
Verschiedene Messsonden und Probenbühnen zum Anpassen an das Messobjekt